EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC konsoliniai irklai
„Semixlab“ SiC konsoliniai mentelės yra tiksliai sukonstruoti komponentai, skirti plokštelių tvarkymui aukštos temperatūros puslaidininkių procesuose, tokiuose kaip epitaksija, oksidacija ir CVD. Pagaminti iš labai gryno rekristalizuoto arba CVD silicio karbido, šie mentelės pasižymi puikiu šilumos laidumu, mažu šiluminiu plėtimusi ir išskirtiniu atsparumu cheminėms medžiagoms. Jų lengvas ir tvirtas dizainas užtikrina matmenų stabilumą ir plokštelių apsaugą greito terminio ciklavimo metu. „Semixlab“, kuria pasitiki pasauliniai puslaidininkių lyderiai, teikia visiškai pritaikytus sprendimus, greitą pristatymą ir ilgą gaminių tarnavimo laiką, todėl yra idealus partneris pažangiems puslaidininkių gamybos poreikiams.
Aprašymas
II. Didelio grynumo SiC konsoliniai mentelės tiksliam plokštelių apdorojimui
SiC konsoliniai mentelės yra svarbiausi komponentai, naudojami terminio apdorojimo įrangoje, skirtoje plokštelėms apdoroti epitaksijos, difuzijos ir oksidacijos etapuose puslaidininkių gamyboje. Dėl išskirtinių terminių ir mechaninių savybių jie idealiai tinka naudoti aukštos temperatūros ir korozinėje aplinkoje švariose patalpose.
II. Produkto apžvalga ir funkciniai privalumai
1. Išskirtinės medžiagų savybės, skirtos didelio našumo reikmėms
„Semixlab“ SiC konsoliniai mentelės gaminamos iš labai gryno, rekristalizuoto silicio karbido (R-SiC) arba CVD SiC dangų, užtikrinančių puikų šilumos laidumą (iki 120 W/m·K), mažą šiluminį plėtimąsi (~4.0 x 10⁻⁶/K) ir išskirtinį atsparumą korozijai bei terminiam smūgiui. Šios savybės užtikrina stabilų plokštelių laikymą aukštos temperatūros procesų metu, sumažinant plokštelių deformacijos ar užteršimo riziką.
2. Puikus matmenų stabilumas ir plokštumas
Dėl minimalaus iškraipymo net ir esant aukštesnei nei 1400 °C temperatūrai, konsolinė konstrukcija užtikrina vienodą plokštelių išdėstymą ir perkėlimą, o tai yra gyvybiškai svarbu epitaksinio sluoksnio vienodumui. Maža SiC masė ir didelis standumas pagerina sistemos našumą ir temperatūros reakciją greito terminio apdorojimo metu.
3. Švarių patalpų lygio paviršiaus grynumas
Dėl tankaus ir lygaus SiC paviršiaus apdailos „Semixlab“ mentelės sumažina dalelių susidarymą ir dujų išsiskyrimą. Tai ypač svarbu aplinkoje, kurioje reikalaujama 1 arba ISO 14644-1 2 klasės švaros lygio.
4. Pritaikyta epitaksinėms, difuzinėms ir CVD krosnims
Mūsų SiC konsoliniai mentelės yra plačiai naudojamos MOCVD, LPCVD ir oksidacijos krosnių platformose, suderinamos su pirmaujančiais įrangos prekių ženklais, tokiais kaip ASM, TEL ir Veeco. Jos sukurtos optimaliam terminiam vienodumui ir mechaniniam tikslumui, padedant užtikrinti didesnę išeigą ir mažesnį proceso pokytį.
III. Kodėl verta rinktis „Semixlab“?
Teikiame individualiai pritaikytas inžinerines paslaugas, įskaitant:
● Produkto pritaikymas pagal dydį, struktūrą ir medžiagos rūšį
● Dangos optimizavimas siekiant atsparumo karščiui ir cheminėms medžiagoms
● Greitas prototipų kūrimas ir mažų partijų gamybos galimybės
● Techninės konsultacijos ir projekto patvirtinimas
„Semixlab“, kaip pirmaujanti Kinijos SiC konsolinių mentelių gamintoja ir gamykla, reikalauja teikti individualius technologijų ir gaminių sprendimus. Nesvarbu, ar norite optimizuoti esamą terminio apdorojimo procesą, įsigyti aukštos kokybės atsarginių dalių, ar kartu kurti individualius SiC sprendimus, „Semixlab“ suteiks jums techninę ir pristatymo paramą.
Kur naudojamos
● MOCVD epitaksijos plokštelių laikikliai
● Oksidacijos ir difuzijos krosnies mentelės
● Plokštelių įkrovimo sistemos LPCVD/CVD įrankiuose
● Individualiai pritaikytos susceptorių atramos sudėtinių puslaidininkių augimui
Mūsų Paslaugos
„Semixlab“ produktų parduotuvė
