Taikomos medžiagos AMAT kvarco žiedas

„Semixlab“ tiekia didelio tikslumo kvarcinius žiedus. Šis produktas daugiausia naudojamas siekiant užtikrinti stabilų aukštos kokybės plėvelių nusodinimą PECVD procese, tuo pačiu maksimaliai padidinant įrangos gamybos efektyvumą ir plokštelių išeigą. Plazmos pasiskirstymą riboja geometrinis tikslumas (±0.1 mm), optimizuotas reakcijos dujų srauto laukas, o plėvelės vienodumas pagerinamas iki σ≤1.5 %. Adsorbcijos proceso šalutiniai produktai sumažino plokštelių defektų rodiklį 30 %.

Greita detalė:

Slapyvardis: Kvarco žiedas, Si plokštelių laikiklis, kvarco žiedų rinkinys, kvarco žiedų rinkinys, viršutinės kameros žiedas, PECVD nusodinimo žiedas, dujų paskirstymo žiedas

Tikslas: Užtikrinti stabilų aukštos kokybės plėvelių nusodinimą PECVD procese, tuo pačiu maksimaliai padidinant įrangos gamybos efektyvumą ir plokštelių išeigą.

Pagrindiniai parametrai: Ypač rekomenduojama SiN (silicio nitrido) nusodinimo procesams, didelio grynumo kvarcui ir gali būti teikiamos specialios dangų dengimo paslaugos. Jis gali atlaikyti aukštą temperatūrą nuo 300 iki 400 ℃ ir daugiau, būti atsparus plazmos erozijai, kvarco grynumas ≥99.99 %, metalo priemaišų kiekis mažesnis nei 5 ppm, burbuliukų/intarpų skersmuo ≤0.1 mm, o jų skaičius ≤3 kubiniame centimetre.

Pagrindinės funkcijos ir vaidmenys:

●Pagrindiniai kameros komponentai: Įsikūrę PECVD proceso kameros viduje, jie sudaro svarbią reakcijos zonos ribą.

●Atsparumas aukštai temperatūrai ir plazmai: Pagamintas iš labai gryno kvarco, pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai (PECVD proceso temperatūra paprastai yra nuo 300 °C iki 400 °C+) ir plazmos erozijai.

●Elektrinė izoliacija: Jis atlieka lemiamą vaidmenį kameros elektros izoliacijoje, užtikrindamas stabilų plazmos generavimą ir proceso vienodumą.

●Procesinių dujų sandarinimas:Padeda palaikyti proceso dujų aplinkos sandarumą kameroje.

● Plokštelių apdorojimo aplinkos apibrėžimas: Jo geometrija ir paviršiaus būklė tiesiogiai veikia dujų srauto ir plazmos pasiskirstymą virš plokštelės, o tai yra labai svarbu plonasluoksnės nusodinimo vienodumui ir kokybei.

●Paviršiaus danga: Kai kurie kvarco žiedai, naudojami specifiniuose procesuose (pvz., SiN), gali būti padengti specialiomis dangomis (pvz., itrio oksidu itriu), siekiant dar labiau sumažinti šalutinių produktų nusėdimą arba pagerinti eksploatacines savybes ir tarnavimo laiką specifinių procesų metu.

Taikomos medžiagos AMAT kvarco žiedas Taikymo scenarijai