Aukšto grynumo kvarco difuzinės krosnies vamzdis

Didelio grynumo kvarco difuzinės krosnies vamzdelis yra specialiai sukurtas aukštos temperatūros difuzijos procesui puslaidininkių plokštelių gamyboje. Jis pagamintas iš itin didelio grynumo sintetinio kvarco smėlio (SiO₂Grynumas ≥99.999%). Atitinka griežtus švaros, terminio stabilumo ir cheminio inertiškumo reikalavimus, taikomus pažangiems procesams, mažesniems nei 7 nm. Produktai gaminami naudojant lanko lydymo procesą ir tikslaus apdirbimo technologiją, siekiant užtikrinti konstrukcijos stabilumą 1200 ℃ aukštoje temperatūroje, plačiai naudojami fosforo / boro legiravimui, oksidų auginimui ir kituose svarbiuose procesuose.

Pagrindinės medžiagos ir savybės

Itin didelio grynumo medžiaga

SiO₂ grynumas: ≥99.999 % (5N klasės), bendras priemaišų kiekis ≤2 ppm (atitinka SEMI F63 standartą).

Pagrindinė priemaišų kontrolė: Li+Na+K≤0.5 ppm, Fe≤0.1 ppm, Al≤0.3 ppm, B≤0.05 ppm (venkite dopingo poveikio).

Hidroksilo kiekis: ≤1 ppm (po dehidroksilinimo, siekiant išvengti plokštelių defektų, atsirandančių dėl vandenilio išsiskyrimo aukštoje temperatūroje).

Šiluminių savybių optimizavimas

Šiluminio plėtimosi koeficientas: 5.5 × 10^-7K^-1(20–1000 °C), išvengiant deformacinių įtrūkimų, kuriuos sukelia staigūs temperatūros pokyčiai.

Minkštėjimo temperatūra: 1680 ℃, ilgalaikė darbo temperatūra ≤1250 ℃ (palaiko greitą kilimą ir aušinimo procesą).

Atsparumas terminiam smūgiui: atlaiko 1200 ℃ → kambario temperatūros gesinimo ciklą ≥200 kartų (ASTM C338 standarto patvirtinimas).

Cheminis inertiškumas ir švara

Atsparumas korozijai: atsparus HF, HCl, HNO₃ ir kitoms stiprioms rūgštims (svorio netekimo greitis ≤0.005 mg/cm²·h).

Paviršiaus švarumas: Ra≤0.1 μm (CMP poliravimas), kietųjų dalelių kiekis ≤5/m2 (@0.1 μm, atitinka ISO 1 klasę).

Metalų taršos kontrolė: paviršiaus metalo likučiai ≤0.1 ppb (ICP-MS aptikimas).

Greita detalė:

1. Kiti pavadinimai: kvarcinis reakcijos vamzdelis, aukštos temperatūros krosnies vamzdelis.

2. Taikymas: Plokštelių difuzijos procesas.

3. Pagrindiniai parametrai: grynumas ≥99.995%, atsparumas temperatūrai 1600 ℃, vidinis skersmuo 20–300 mm.

Aukštos temperatūros difuzinis legiravimas.

Fosforo/boro kietojo kūno šaltinio difuzija (1000–1200 ℃).

Greitas terminis atkaitinimas (RTA) (kylimo / aušinimo greitis ≥100 ℃/s).

Itin didelis grynumas ir atsparumas kristalizacijai prailgina krosnies vamzdžio tarnavimo laiką.

Palaikykite sudėtingą konstrukcijos dizainą, prisitaikykite prie įvairių proceso reikalavimų.

Griežta matmenų tolerancijos kontrolė (±0.5 mm).