Puslaidininkinė kvarcinė valtis

„Semixlab“ puslaidininkių kvarco plokštelių valtys yra pagrindiniai guolių įrankiai, skirti aukštos temperatūros procesams, tokiems kaip difuzija, oksidacija, CVD, atkaitinimas ir kt., puslaidininkių gamyboje. Pagaminti iš labai gryno sintetinio kvarco, pasižyminčio puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, cheminiu stabilumu ir mažu šiluminio plėtimosi koeficientu, jie gali stabiliai nešti plokšteles atšiauriomis proceso sąlygomis, užtikrindami proceso nuoseklumą ir produkto išeigą.

Taikoma įranga: suderinama su visų rūšių horizontaliomis / vertikaliomis difuzinėmis krosnimis (horizontalios / vertikalios difuzinės krosnys), LPCVD sistema ir greito terminio apdorojimo (RTP) įranga.

kokybės užtikrinimas

Griežta kokybės kontrolė: 100 % helio masių spektrometrijos nuotėkio aptikimas (nuotėkio greitis <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Kiekvienai partijai išduodama medžiagos grynumo ataskaita (ICP-MS bandymas).

Sertifikavimo standartai: Pagal SEMI F47 specifikacijas, naudojant ISO 9001:2015 kokybės vadybos sistemos sertifikatą.

Tarnavimo laikas: vidutinis tarnavimo laikas normaliomis sąlygomis yra daugiau nei 2 metai (priklausomai nuo proceso dažnio ir temperatūros sąlygų).

Kodėl verta rinktis mūsų kvarcinį laivą?

Individualiai pritaikytos paslaugos: individualus dydis ir konstrukcija pagal įrangos modelį (TEL, Kokusai, ASM ir kt.) ir proceso reikalavimus.

Greitas atsakymas: standartinis pristatymo laikas yra 3 savaitės, skubūs užsakymai gali būti sutrumpinti iki 10 darbo dienų.

Pasaulinis aptarnavimo tinklas: teikia technines konsultacijas, montavimo instrukcijas ir garantinio aptarnavimo palaikymą. Medžiagų specifikacijos.

Projekto specifikacija

Medžiagų sintezė Lydytas kvarcas

Grynumas ≥99.99 % SiO₂

Plokštelių dydžių suderinamumas: 8", 12" (galima pritaikyti 6" arba 18")

Darbinė temperatūra ≤1200°C (nuolatinė) / 1300°C (didžiausia)

Šiluminio plėtimosi koeficientas (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20–1000 °C)

Paviršiaus šiurkštumas (Ra) ≤0.2 μm

Standartinė talpa 25/50/100 tablečių

Taikomos proceso dujos O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl ir kt.

Aukštos temperatūros oksidacija/difuzija: silicio legiravimas (fosforo, boro difuzija), vartų oksido augimas.

Plonasluoksnis nusodinimas: LPCVD polikristalinis silicis, silicio nitrido (Si₃N₄) nusodinimas.

Atkaitinimo procesas: atkaitinimas po jonų implantacijos (RTA), metalo legiravimas.

Trečiosios kartos puslaidininkis: silicio karbido (SiC), galio nitrido (GaN) epitaksijos procesas.

1. Medžiagos charakteristikos

Itin didelio grynumo kvarcas (>99.99 % SiO₂): išvengiama taršos metalo jonais (Na+, K+, Fe³+ ir kt.) ir atitinka pažangių procesų (<5 nm mazgų) švaros reikalavimus.

Atsparumas aukštai temperatūrai: nuolatinė darbinė temperatūra 1200 °C, momentinis temperatūros atsparumas 1300 °C, nėra deformacijos ar kristalizacijos rizikos.

Cheminis inertiškumas: Atsparus proceso dujoms, tokioms kaip HCl, H₂, O₂, SiH₄, ir rūgštinei / šarminei aplinkai. Nesukelia korozijos ilgalaikio naudojimo metu.

2. Tikslus dizainas

Optimizuokite struktūrą:

Lizdų tarpo tikslumas yra ±0.05 mm, todėl užtikrinamas tikslus plokštelių padėties nustatymas (8/12 colio) ir išvengiama įbrėžimų ar poslinkio.

Šiluminiam smūgiui atspari konstrukcija, prisitaikanti prie greito kilimo ir kritimo (kaitimo greitis ≤20 °C/min.).

Mažas dalelių susidarymas: paviršius yra itin tiksliai poliruotas (Ra ≤0.2 μm), kad sumažintų dalelių prilipimą ir kritimą.

3. Įvairiapusė konfigūracija

Talpa (neprivaloma): palaiko 25, 50, 100 ir kitas standartines specifikacijas, taip pat gali būti pritaikytas nestandartiniam lizdo numeriui.

Tipo pritaikymas: atvira valtis, uždara valtis arba specialus valties tipas (pvz., valties dugno nukreipimo kanalo konstrukcija).

1 klausimas: Ar galite pateikti nestandartinį dydį ar specialų dizainą?

A1: „Semixlab“ palaiko individualias paslaugas, įskaitant dydžio koregavimą, viršutinę temperatūros ribą (reikalingas medžiagos atnaujinimas) arba sąsajos tipą. Dėl konkrečių reikalavimų susisiekite su „Semixlab“ technine komanda.

2 klausimas: koks yra pristatymo laikas?

A2: Standartinių gaminių pristatymo laikas yra 4–6 savaitės, o individualių gaminių projektavimo ir patikros laikas – 2–3 savaitės.

3 klausimas: Ar teikiate techninę pagalbą po pardavimo?

A3: Taip, mes teikiame visą gyvenimą trunkančias technines konsultacijas ir reagavimo į ekstremalias situacijas paslaugas. Kilus diegimo ar naudojimo problemoms, su palaikymo komanda galite susisiekti bet kuriuo metu el. paštu arba telefonu.

4 klausimas: Ar produktas atitinka puslaidininkių pramonės standartus?

A4: Taip, gamybos procesas atitinka SEMI standartus ir yra sertifikuotas pagal ISO 9001 kokybės vadybos sistemą. Kiekviena partija prieš išvežant iš gamyklos yra patikrinama dėl sandarumo, atsparumo temperatūrai ir grynumo.