EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Individualiai pritaikytas silicio dengtas plokštelinis susceptorius
„Semixlab“ pritaikytas SiC danga padengtas plokštelinis susceptorius sukurtas pažangiam puslaidininkių apdirbimui, derinant CVD SiC dangą su didelio grynumo grafito substratu. Jis užtikrina puikų terminį stabilumą, atsparumą cheminiam poveikiui ir tolygų plokštelių kaitinimą, todėl idealiai tinka epitaksiniam plokštelių auginimui, MOCVD ir plonasluoksnių sluoksnių nusodinimo procesams. „Semixlab“ siūlo individualiai pritaikytas dydžio, formos ir dangos storio dizaino parinktis, kurios užtikrina patikimus susceptorių sprendimus, kurie sumažina užterštumą, pailgina tarnavimo laiką ir pagerina plokštelių išeigą, tiksliai patenkindami puslaidininkių gamyklų poreikius visame pasaulyje.
Aprašymas
SiC danga padengtas plokštelių susceptorius yra labai svarbus puslaidininkių gamybos komponentas, ypač epitaksinio augimo procesuose, tokiuose kaip MOCVD, PECVD ir CVD. Jis tarnauja kaip stabilus nešiklis, laikantis plokšteles aukštoje temperatūroje, korozinėje ir vakuuminėje aplinkoje, užtikrindamas tolygų šilumos perdavimą ir apdorojimą be užteršimo. Užtepus CVD SiC dangą ant didelio grynumo grafito susceptoriaus, susceptorius sujungia puikų šiluminį našumą su dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms, todėl jis yra nepakeičiamas naujos kartos puslaidininkių gamyboje.
Medžiagos sudėtis ir fizinės savybės
„Semixlab“ pritaikytas SiC plokštelinis susceptorius gaminamas naudojant dvi pagrindines medžiagas:
CVD SiC danga
●Išskirtinis kietumas (Mohs 9+) ir ilgaamžiškumas
● Didelis grynumas (> 99.999 %), siekiant sumažinti dalelių susidarymą
● Puikus cheminis inertiškumas korozinėms dujoms (HCl, NH₃, H₂ ir kt.)
●Terminis stabilumas iki **1600 °C
● Tankus, vienodas dangos storis ilgam tarnavimo laikui
Didelio grynumo grafito susceptorius
● Didelis šilumos laidumas stabiliam temperatūros pasiskirstymui
●Lengvesnė konstrukcija, palyginti su monolitine keramika
● Tiksliai apdirbtas, kad atitiktų griežtus plokštelių lygumo reikalavimus
●Stabilus mechaninis stiprumas esant terminiams ciklams
Šios bendros savybės daro SiC dengtą susceptorių labai atsparų terminiam šokui, plazmos erozijai ir dalelių užterštumui, užtikrinant pastovią plokštelių kokybę.
Kur naudojamos
Taikymas puslaidininkių apdorojime
SiC dengtas plokštelinis susceptorius plačiai naudojamas pažangiuose puslaidininkių procesuose, ypač:
●Epitaksinis plokštelių augimas (Epi plokštelių gamyba): Užtikrina tolygų kaitinimą ir sumažina plokštelių išlinkimą epitaksinio nusodinimo metu SiC, GaN, GaAs ir kituose sudėtiniuose puslaidininkiuose.
●MOCVD ir CVD procesai: Suteikia chemiškai stabilų, labai gryną paviršių tolygiam plonasluoksniam nusodinimui.
●LED ir galios puslaidininkių gamyba: Palaiko didelio ryškumo LED plokšteles ir plataus draudžiamojo tarpo medžiagas aukštos temperatūros auginimo kamerose.
● Aukštos temperatūros atkaitinimas ir difuzija: Išlaiko konstrukcijos stabilumą pasikartojančių terminių ciklų metu, kartu apsaugodamas nuo užteršimo.
Optimizuodamas šilumos perdavimą ir išlaikydamas paviršiaus vientisumą, susceptorius tiesiogiai veikia plokštelių išeigą, vienodumą ir defektų mažinimą, todėl jis yra itin svarbus epitaksinių procesų linijų komponentas.
Konkurencinis pranašumas
„Semixlab“ konkurenciniai pranašumai
„Semixlab“ siūlome daugiau nei standartinius komponentus – pristatome individualiai pritaikytus sprendimus, kurie atitinka griežtus puslaidininkių gamintojų reikalavimus:
Tinkinimo ekspertizė
Įvairių dydžių, formų, dangos storių ir geometrijų susceptorių projektavimas ir gamyba, atitinkantys konkrečius MOCVD/CVD reaktorius.
SiC dengto vaflių laikiklis
Silicio karbidu padengtas plokštelinis susceptorius
Techninė konsultacija
Ekspertų inžinerijos komanda teikia konkrečiam procesui skirtas rekomendacijas, kaip pagerinti plokštelių išeigą ir pailginti susceptorių tarnavimo laiką.
Ekstremalios būklės testavimas
Visi gaminiai yra griežtai tikrinami dėl terminio stabilumo, atsparumo cheminiam poveikiui ir mechaninio patvarumo realiomis proceso sąlygomis.
Mūsų Paslaugos
„Semixlab“ produktų parduotuvė
