SiC dengto grafito laikiklis ICP

Daugiasluoksnė Si epitaksinė apdorojimo platforma

„Semixlab“ SiC dengto grafito laikiklis ICP yra specialiai sukurtas induktyviai sujungtam plazminiam ėsdinimui ir nusodinimui. Jame naudojamas labai grynas grafito substratas kartu su silicio karbido dengimo procesu, kad būtų užtikrintas puikus atsparumas aukštai temperatūrai, korozijai ir oksidacijai. Jis tinka atšiaurioms analitinėms aplinkoms, žymiai pailgina komponentų tarnavimo laiką ir sumažina priežiūros išlaidas. Tuo pačiu metu garantuojame griežtą kokybės kontrolę, individualiai pritaikytas paslaugas ir greitą pristatymą.

Naudojimas:

SiC dengtas grafito laikiklis yra pagrindinis puslaidininkių induktyviai sujungtos plazmos (ICP) ėsdinimo ir nusodinimo procesų komponentas dėl didelio grynumo, atsparumo aukštai temperatūrai ir puikaus atsparumo plazmos erozijai.

Paslaugos, kurias galima teikti:

klientų pritaikymo scenarijų analizė, medžiagų derinimas, techninių problemų sprendimas.

Kompanijos profilis:

„Semixlab“ turi 2 laboratorijas, ekspertų komandą, turinčią 20 metų medžiagų patirtį, turinčią MTEP ir gamybos, testavimo ir tikrinimo galimybes.

Techniniai parametrai

Pagrindinės taikymo sritys

Ekologinės grandinės patikros patvirtinimas

„Semixlab“ SiC dengto grafito laikiklis, skirtas ICP ekologinės grandinės patikrai, apima nuo žaliavų iki gamybos, yra išlaikęs tarptautinį standartų sertifikavimą ir turi daug patentuotų technologijų, užtikrinančių jo patikimumą ir tvarumą puslaidininkių ir naujosios energijos srityse.

Dėl išsamių techninių specifikacijų, informacinių dokumentų ar pavyzdžių bandymų tvarkos susisiekite su mūsų techninės pagalbos komanda ir sužinokite, kaip „Semixlab“ gali padidinti jūsų procesų efektyvumą.

„Semixlab“ SiC dengto grafito laikiklio ICP šerdies pranašumai

Super atsparumas korozijai

SiC dengtuose grafito laikikliuose naudojamas cheminio garų nusodinimo procesas, kurio metu ant grafito paviršiaus suformuojamas tankus apsauginis silicio karbido sluoksnis, veiksmingai atsparus stiprių rūgščių, bazių ir organinių tirpiklių korozijai. Palyginti su tradiciniais grafito ar metalo laikikliais, šie laikikliai yra stabilesni dirbant su labai koroziniais mėginiais, apsaugodami juos nuo užteršimo dėl medžiagos irimo. Jie ypač tinka ICP taikymams, susijusiems su ilgalaikiu korozinės terpės poveikiu.

Aukštos temperatūros stabilumas

Aukštos temperatūros ICP plazmos aplinkoje paprastas grafitas lengvai oksiduojasi ir yra pašalinamas, tačiau SiC danga žymiai slopina reakciją tarp grafito substrato ir deguonies. Jos atsparumas aukštai temperatūrai užtikrina, kad laikiklis išlaikytų savo struktūrinį vientisumą ilgalaikėmis aukštos temperatūros eksploatavimo sąlygomis, apsaugodamas nuo prietaiso veikimo pablogėjimo dėl terminės deformacijos ar medžiagos praradimo. Jis ypač tinka didelio našumo laboratorijų nuolatinio bandymo poreikiams.

Didelis mechaninis stiprumas

SiC kietumas artimas deimanto kietumui, o jo danga žymiai pagerina kietesnio paviršiaus atsparumą dilimui. ICP atveju SiC dangos sumažina paviršiaus dilimą ir padidina pagrindinių komponentų pritaikymo tikslumą, taip išlaikydamos stabilų jonų perdavimo efektyvumą ir sumažindamos keitimo dažnumą.

Taupus

Palyginti su grynu SiC arba platina, SiC padengtas grafitas išlaiko puikias eksploatacines savybes ir 30–50 % sumažina sąnaudas. Jo tarnavimo laikas yra 3–5 kartus ilgesnis nei įprastų grafito laikiklių, todėl žymiai sumažėja prastova ir eksploatacinių medžiagų poreikis. Tai optimaliai ekonomiškas sprendimas, ypač laboratorijoms su ribotu biudžetu, kurioms reikalingas ilgalaikis stabilus veikimas.