EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Didelio grynumo minkštas veltinis
„Semixlab“ didelio grynumo minkštas veltinis yra specialiai sukurtas reiklioms aukštos temperatūros terminio lauko reikmėms puslaidininkių gamyboje. Pagaminta iš aukštos kokybės anglies pagrindo pirmtakų ir išgryninta pažangiu būdu, ši minkšta veltinio medžiaga pasižymi itin mažu priemaišų kiekiu, puikia šilumos izoliacija ir išskirtiniu struktūriniu prisitaikymu. Dėl lankstaus dizaino jis leidžia tiksliai pritaikyti prie sudėtingų terminio lauko konstrukcijų, optimizuojant temperatūros gradientus ir užtikrinant stabilias proceso sąlygas. Laukiame jūsų užklausos.
Aprašymas
Kodėl grynumas svarbus terminiuose laukuose? Gaminant trečios kartos energiją?
Puslaidininkiai (SiC/GaN), tradiciniai izoliaciniai veltiniai su dideliu pelenų kiekiu (daugiau nei 500 ppm) linkę išskirti metalines priemaišas esant aukštesnei nei 1600 °C temperatūrai. Tai sukelia gardelės defektus ir sumažina plokštelių išeigą.
„Semixlab“ minkštas veltinis yra valomas išskirtiniu aukštos temperatūros cheminiu procesu, kurio metu bendras priemaišų kiekis sumažinamas iki mažiau nei 5 ppm. Tai ne tik užtikrina švarią augimo aplinką, bet ir itin didelį terminį stabilumą, reikalingą ilgo ciklo kristalų auginimui.
Semixlab Edge
Esame daugiau nei tiekėjai – esame jūsų aukštos temperatūros zonos partneris. Įkurta CAS tyrėjų, mes puikiai deriname izoliacijos sprendimus su CVD dangomis (TaC/SiC). Mes ne tik tiekiame izoliacinį veltinį; mes optimizuojame visą jūsų šiluminį lauką, naudodami grafito šildytuvus ir porėtą TaC, kad sumažintume energijos suvartojimą. Mūsų vidinis 5 ašių CNC apdirbimas leidžia pagaminti individualius, iš anksto surinktus rinkinius, kurie tiksliai atitinka jūsų krosnies dizainą be jokių klaidų.
Techninės specifikacijos
| Skelbimų | Aukščiausios kokybės PAN pagrindu pagamintas veltinis | Aukštos kokybės viskozės pagrindu pagamintas veltinis |
| Iš viso priemaišų | ≤5 ppm (GDMS) | ≤ 10 ppm |
| Anglies kiekis | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Masinis tankis | 0.10–0.15 g/cm³ | 0.08–0.12 g/cm³ |
| Terminis kond. (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09–0.13 W/m²·K |
| Maksimali darbinė temperatūra. | 2800 °C (inertinė/vakuumo) | 2600 °C (inertinė/vakuumo) |
| Standartinis storis | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Kur naudojamos
Kritinės programos
Lauko sąlygomis patikrintas našumas:
Sukurtas SiC ir silicio augimui (PVT/CZ), mūsų veltinys veikia kaip terminis stabilizatorius, slopinantis kristalų dislokaciją. MOCVD/Epitaksijos metodu (suderinamas su „Aixtron“, „NuFlare“) jis išlieka inertiškas korozinių H2/NH3 srautų veikiamas, blokuodamas priemaišų difuziją. Pluošto tempimo ir safyro sukepinimo atveju jo savybė neišskiria dujų, užtikrinanti vakuuminį vientisumą ir apsaugo nuo išeigos nuostolių.
Konkurencinis pranašumas
Pagrindiniai pranašumai
Itin didelis grynumas (<5 ppm), patikrintas GDMS metodu. Griežtai kontroliuojamas Al, B, Fe ir kitų pagrindinių priemaišų kiekis, siekiant išvengti kryžminės taršos epitaksinio augimo metu.
Puiki šilumos izoliacija: Šilumos laidumas, siekiantis vos 0.12 W/m·K esant 1000 °C temperatūrai, sumažina šilumos nuostolius ir kontroliuoja terminį gradientą ±1 °C tikslumu.
Mažas dalelių išsiskyrimas: Optimizuotas pluošto ir paviršiaus apdorojimas sumažina dulkių kiekį vakuuminiuose cikluose, apsaugodamas CVD (TaC/SiC) grafito susceptorius ir šildytuvus.
Didelis lankstumas ir tinkamumas: Minkštas ir suspaudžiamas, kad būtų galima 360° sklandžiai apvynioti sudėtingas krosnis, apsaugant nuo šiluminių nuotėkių dėl standžios izoliacijos.
DUK
Optimizuoti DUK
K: Kaip „Semixlab“ minkštas veltinis prailgina grafitinių šildytuvų tarnavimo laiką?
A: Užtikrindamas stabilesnį šiluminį skydą, mūsų minkštas veltinis sumažina šildytuvo energijos apkrovą, reikalingą palaikyti tikslinę temperatūrą, taip sulėtindamas grafito kaitinimo elementų anglies sublimaciją ir oksidaciją.
K: Ar jūsų veltinį galima naudoti didelės dujų srauto aplinkoje?
A: Taip. Didelio dujų greičio procesams (pvz., MOCVD) rekomenduojame mūsų didelio tankio PAN pagrindu pagamintą veltinį arba hibridinį sprendimą su grafito folijos paviršiumi, kuris apsaugo nuo pluošto erozijos ir užtikrina nulinį dalelių užterštumą.
Mūsų Paslaugos
