Didelio grynumo PECVD grafito valtys

Produktų apžvalga

PECVD grafito valtys plačiai naudojamos saulės elementų gamybos linijose, kur silicio plokštelės turi būti pakartotinai padengiamos plazminiu padengimu ir pasyvavimu. Kadangi grafito nešiklis tiesiogiai liečiasi su plokštelėmis pakrovimo, perkėlimo ir nusodinimo metu, jo stabilumas daro didelę įtaką užterštumo kontrolei ir automatizavimo patikimumui.

„Semixlab“ grafitinės valtys gaminamos iš išgrynintų grafitinių medžiagų, pasižyminčių mažu pelenų kiekiu ir stabiliu tankio pasiskirstymu. Konstrukcija sukurta atsižvelgiant į praktines eksploatavimo sąlygas, būdingas nepertraukiamos gamybos linijoms, ypač ten, kur dažni staigūs temperatūros pokyčiai ir aukšto dažnio robotų naudojimas.

Praktiškai daugelis gamyklų atkreipia dėmesį ne tik į grynumą, bet ir į deformaciją po ilgų gamybos ciklų. Per greitai sulinkęs ar formą keičiantis nešiklis gali lengvai sukelti perkėlimo problemų, plokštelių įbrėžimų ar nestabilių pakrovimo padėčių. Siekiant sumažinti šią riziką, grafitinės valtys yra suprojektuotos su santykinai mažomis šiluminio plėtimosi savybėmis ir pagerintu mechaniniu konsistencija.

Priklausomai nuo kliento įrangos reikalavimų, taip pat gali būti palaikomi skirtingi plokštelių dydžiai ir automatizavimo konfigūracijos. Produktas dažniausiai naudojamas TOPCon, HJT, PERC ir susijusiose PECVD gamybos aplinkose.

Pagrindiniai bruožai

Išgryninta grafito medžiaga, kurios pelenų kiekis mažesnis nei 20 ppm.

Stabili struktūra, veikianti pakartotiniams šildymo ir aušinimo ciklams.

Mažesnis šiluminis plėtimasis, palyginti su įprastais grafito nešikliais.

Tinka automatinėms plokštelių įkrovimo sistemoms.

Sumažinta deformacija ilgalaikio plazminio proceso metu.

Suderinamas su M10 ir M12 plokštelių gamybos platformomis.

Apdirbta angų struktūra padeda pagerinti perkėlimo stabilumą.

Galima pritaikyti pagal individualius matmenis ir žingsnio tarpus.

Gamybos ir medžiagų pastabos

Šioms nešiklių sistemoms naudojamos grafito medžiagos gali būti parenkamos atsižvelgiant į kliento proceso sąlygas ir numatomą eksploatavimo ciklą. Priklausomai nuo taikymo aplinkos, gali būti svarstomos importuotos grafito rūšys arba vietinės išgrynintos medžiagos.

„Semixlab“ taip pat palaiko apdirbimo reguliavimą, pagrįstą skirtingomis automatizavimo platformomis, įskaitant tarpų tarp griovelių, kreipiančiųjų struktūrą, pakrovimo orientaciją ir surinkimo konfigūraciją. Prieš masinę gamybą matmenų patikrinimas ir apdorojimo įvertinimas paprastai atliekami pagal kliento brėžinius arba pavyzdžių reikalavimus.

Techninės specifikacijos