EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PZT pjezoelektrinės plokštelės
Sparčiai augant 5G ryšiui, tiksliajai medicinai ir išmaniesiems nešiojamiesiems prietaisams, didėja didelio jautrumo, mažos galios MEMS keitiklių paklausa rinkoje. Mūsų pjezoelektrinės plokštelės (PZT ant Si/SOI) naudoja pažangius plonasluoksnio nusodinimo procesus, kad pasiektų išskirtinį vienodumą ir puikias pjezoelektrines savybes ant silicio substratų, kurie yra pagrindinis efektyvaus elektromechaninio energijos konvertavimo pagrindas.
Aprašymas
Individualizuotos paslaugos
Be standartizuotų 8 colių PZT plokštelių, mes teikiame plačias pritaikymo galimybes, pritaikytas konkretiems mūsų klientų poreikiams:
● Pagrindo įvairovė: Palaikome nusodinimą ant Si ir SOI plokštelių (kurių varža > 5000 omų/cm).
● Plonos plėvelės pritaikymas: konkrečius plonos plėvelės tipus ir storius galima pritaikyti prie dizaino specifikacijų.
● Lankstus dydžių pasirinkimas: siūlome apdorojimo galimybes tiek 6, tiek 8 colių plokštelių formatams.
● Kliento tiekiamos plokštelės: Priimame klientų tiekiamus substratus pjezoelektrinių plonų plėvelių auginimui.
Jūsų techninis partneris: Esame įsipareigoję teikti visapusišką pagalbą – nuo medžiagų kūrimo iki konstrukcijos pritaikymo. Nesvarbu, ar esate laboratorinių tyrimų ir plėtros etape, ar masinės gamybos etape, mūsų techninė komanda yra pasirengusi pasiūlyti geriausiai jūsų poreikius atitinkančius pjezoelektrinius sprendimus.
Techninės specifikacijos
Mūsų standartiniai gaminiai gaminami naudojant 6 ir 8 colių procesus, pasižyminčius sudėtingais daugiasluoksniais konstrukciniais dizainais, kurie užtikrina stabilų veikimą sudėtinguose MEMS gamybos procesuose.
Sluoksnio struktūros parametrai (standartinis 8 colių)
| sluoksnis | Storis | pastabos |
| Viršutinis elektrodas | pritaikyti | Viršutinis elektrodas |
| Pjezo sluoksnis | pritaikyti | Pagrindinis pjezoelektrinis sluoksnis |
| Buferinis sluoksnis | pritaikyti | Grūdų orientacijos valdymo sluoksnis |
| Apatinis elektrodas | 100 nm ± 10 % | Apatinis elektrodas |
| Sukibimo sluoksnis | pritaikyti | Sukibimo sluoksnis |
| Substratas | pritaikyti | Galimi 4/6/8 colių variantai |
Pagrindiniai veiklos rodikliai (charakteristikos)
● Pjezoelektrinė konstanta (d31): 200 pC/N – Užtikrina labai efektyvią mechaninio poslinkio išvestį.
● Pjezoelektrinis koeficientas (e31): −15 C/m² – užtikrina labai jautrų elektros krūvio atsaką.
● Didelis vienodumas: Rentgeno spindulių difrakcijos analize patvirtinta, kad PZT plėvelė pasižymi stipria (100) orientacija, užtikrinančia išskirtinį vienodumą visoje plokštelėje.
| PZT charakteristikos | Polikristalinis PZT |
| Pjezoelektrinė konstanta d31 | 200 pC/N |
| pjezoelektrinis koeficientas e31 | -14 °C/m² |
| Curie temperatūra | X ℃ |
SEM vaizdas ir XRD
Kur naudojamos
Penkios pagrindinės taikymo sritys
1. Pjezoelektriniai ultragarsiniai keitikliai (pMUT)
Išnaudojant didelę PZT plonų plėvelių pjezoelektrinę konstantą, sukuriamos aukšto dažnio miniatiūrinės ultragarsinės matricos. Plačiai naudojamos pirštų atspaudų atpažinimo po ekranu, gestų jutimo ir automobilių ultragarsinių radarų sistemose.
2. RF filtrai ir ryšiai (RF MEMS)
5G ir 6G ryšio sistemose didelio našumo pjezoelektrinės medžiagos yra labai svarbios gaminant FBAR ir SAW filtrus, nes jos leidžia pasiekti didesnį pralaidumą ir mažesnius įterpties nuostolius.
3. Akustinės MEMS sistemos (garsiakalbiai / mikrofonai)
Suteikia MEMS garsiakalbiams pranašesnį trumpalaikį atsaką ir garso slėgio lygius (SPL), tuo pačiu padidinant MEMS mikrofonų signalo ir triukšmo santykį (SNR), kad būtų galima įrašyti didelės raiškos garsą.
4. Tikslus skysčių valdymas (rašalinių spausdinimo galvutės)
Naudojant didelės spartos vibracijas d31 režimu, siekiant nanolitrų lygio tikslumo kontroliuojant rašalo lašelių kiekį; tarnauja kaip pagrindinis pramoninės klasės, didelės raiškos rašalinio spausdinimo sistemų paleidimo komponentas.
5. Medicininė estetika ir mikropumpavimas
Medicininių inhaliatorių ir estetinių ultragarsinių siurblių valdymas. Pasitelkdami kompaktišką PZT plonų plėvelių dydį ir didelį patikimumą, užtikriname efektyvų skystų vaistų purškimą ir tikslų tiekimą.
