Kvarco dalys

Kvarcas vis dar plačiai naudojamas puslaidininkių apdirbime. Jis nėra naujas, bet patikimas, ir dauguma gamintojų žino, kaip jis elgiasi. Kol kontroliuojamas grynumas, jis gerai veikia difuzijos, oksidacijos ir valymo etapuose.

Daug kvarco detalių naudojama krosnių sistemose arba PECVD įrankiuose. Pagrindinis lūkestis yra stabilumas – nebūtinai ilgas tarnavimo laikas, bet nuspėjamas veikimas. Paprastai to pakanka daugeliui standartinių procesų.

Žinoma, kvarcas turi savo apribojimų. Tam tikromis sąlygomis jis gali greičiau susidėvėti, ypač palyginti su SiC. Tačiau kadangi jį gana lengva gauti ir jis nėra labai brangus, žmonės jį vis dar naudoja gana daug.