EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Kvarco viršutinis žiedas
Kvarcinis viršutinis žiedas 0200-02626 yra tiksliai pagamintas puslaidininkinis kvarco komponentas, skirtas naudoti plazminio apdorojimo kamerose, tokiose kaip ėsdinimo ir PVD sistemos. Pagamintas iš labai gryno lydyto kvarco, šis žiedas pasižymi puikiu atsparumu plazmos korozijai, terminiam įtempimui ir cheminėms reakcijoms, dažniausiai pasitaikančioms puslaidininkių gamybos aplinkoje. Kaip sunaudojamas kameros komponentas, kvarcinis viršutinis žiedas 0200-02626 atlieka labai svarbų vaidmenį palaikant kameros švarą, apsaugant aparatinę įrangą ir užtikrinant patikimą plokštelių gamybą. Laukiame jūsų užklausos.
Aprašymas
Kvarcinis viršutinis žiedas 0200-02626 yra didelio tikslumo kvarco komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos įrangoje. Sukurtas veikti plazmos intensyviose aplinkose, tokiose kaip ėsdinimo ir fizikinio garų nusodinimo (PVD) kameros, šis kvarco žiedas veikia kaip svarbus apsauginis ir procesą stabilizuojantis elementas kameros viduje.
„Semixlab“ tiekia aukštos kokybės puslaidininkių atsargines dalis ir tikslius kvarcinius komponentus, sukurtus taip, kad atitiktų griežtus šiuolaikinių plokštelių gamybos įrenginių reikalavimus. 0200-02626 kvarcinis viršutinis žiedas pagamintas iš didelio grynumo lydyto kvarco, kad būtų užtikrintas puikus terminis stabilumas, atsparumas plazmai ir užterštumo kontrolė.
Produktų apžvalga
Kvarcinis viršutinis žiedas 0200-02626 paprastai montuojamas viršutinėje puslaidininkių apdorojimo kameros dalyje, aplink arba sulygiuojant su plokštelių apdorojimo sritimi. Jis plačiai naudojamas kaip apsauginis ir srautą stabilizuojantis komponentas plazminio apdorojimo sistemose.
Pagrindinė produkto informacija
| Punktas | Aprašymas |
| produkto pavadinimas | Kvarco viršutinis žiedas |
| Dalies numeris | 0200-02626 |
| Medžiaga | Didelio grynumo lydytas kvarcas |
| Komponento tipas | Puslaidininkių įrangos atsarginė dalis |
| taikymas | Ėsdinimo / PVD / plazminio apdorojimo kameros |
| Kategorija | Kameros apsaugos ir proceso valdymo komponentas |
| Tiekėjas | Semixlab |
Pagamintas laikantis griežtų matmenų tolerancijų ir didelio medžiagų grynumo, kvarcinis viršutinis žiedas padeda palaikyti stabilią proceso aplinką ir pastovų plokštelių išeigą.
Tipinės konstrukcijos ypatybės
Kvarcinis viršutinis žiedas 0200-02626 pagamintas naudojant geometriją, optimizuotą integravimui su puslaidininkių apdorojimo kameromis.
Tipiškos dizaino ypatybės:
● Tikslus vidinis skersmuo (ID), suderintas su plokštelių apdorojimo sritimi
● Išorinis skersmuo (OD) skirtas saugiam montavimui kameros skyduose arba tvirtinimo detalėse
● Laiptuoti arba grioveliai profiliai pagerina mechaninį stabilumą
● Papildomos dujų srauto angos arba skylės, padedančios paskirstyti plazmą ir dujas
● Poliruoti kvarco paviršiai, siekiant sumažinti dalelių susidarymą
● Didelio tikslumo apdirbimas užtikrina nuoseklų montavimą ir pakartojamumą
Šios konstrukcinės savybės padeda užtikrinti patikimą veikimą didelio vakuumo ir didelės plazmos aplinkoje.
Kur naudojamos
Funkcija puslaidininkių įrangoje
Puslaidininkių apdorojimo sistemose kvarcinis viršutinis žiedas atlieka keletą esminių vaidmenų, kurie tiesiogiai veikia kameros veikimą ir plokštelių kokybę.
Plazminis ekranavimas: Žiedas veikia kaip apsauginis barjeras tarp plazmos aplinkos ir svarbiausių kameros komponentų, apsaugodamas nuo tiesioginio plazmos poveikio metalinėms struktūroms.
Kameros apsauga: Kvarco viršutiniai žiedai tarnauja kaip apsauginiai komponentai, sugeriantys proceso šalutinius produktus, tokius kaip nusėdimo likučiai ar ėsdinimo reakcijos. Tai padeda apsaugoti brangią kameros įrangą nuo pažeidimų.
Proceso stabilumas: Formuodamas plazmos sritį ir išlaikydamas pastovų atstumą aplink plokštelės kraštą, kvarco žiedas prisideda prie stabilaus plazmos elgesio ir pakartojamų apdorojimo sąlygų.
Kraštų vienodumo kontrolė: Tinkamai suprojektuoti kvarco žiedai padeda reguliuoti dujų srautą ir plazmos pasiskirstymą, o tai pagerina plokštelių kraštų vienodumą ir bendrą proceso našumą.
Konkurencinis pranašumas
Medžiaga ir privalumai
Kvarcinis viršutinis žiedas 0200-02626 pagamintas iš didelio grynumo lydyto kvarco (SiO₂) – medžiagos, plačiai naudojamos puslaidininkinėje įrangoje dėl išskirtinio našumo plazmos ir aukštos temperatūros sąlygomis.
Pagrindiniai medžiagos privalumai:
1. Puikus atsparumas plazmai
Lydytas kvarcas pasižymi dideliu atsparumu jonų bombardavimui ir plazmos korozijai, todėl idealiai tinka atšiaurioms puslaidininkių apdorojimo aplinkoms.
2. Itin mažas metalų užterštumas
Didelio grynumo kvarcas turi itin mažą metalinių priemaišų kiekį, kuris padeda išvengti dalelių susidarymo ir užteršimo plokštelių apdorojimo metu.
3. Puikus terminis stabilumas
Kvarcas išlaiko struktūrinį vientisumą esant aukštesnei temperatūrai, kuri dažniausiai sutinkama plazmos kamerose.
4. Elektros izoliacija
Kaip nelaidi medžiaga, kvarcas padeda stabilizuoti elektrinį lauką plazmos kamerose ir prisideda prie vienodų apdorojimo sąlygų.
5. Cheminis inertiškumas
Kvarcas pasižymi dideliu atsparumu reaktyviosioms proceso dujoms, naudojamoms puslaidininkių gamyboje.
Dėl šių savybių lydytas kvarcas yra pageidaujama medžiaga kamerų apsaugos komponentams ir plazmoje veikiamoms dalims.
Mūsų Paslaugos
„Semixlab“ produktų parduotuvė
