0200-09911 Kvarco dangtelio žiedas

AMAT 0200-09911 kvarcinis dengiamasis žiedas yra tiksliai pagamintas didelio grynumo kvarco komponentas, skirtas naudoti plazminio ėsdinimo sistemose. Jis veikia kaip apsauginis ir procesą reguliuojantis žiedas, montuojamas ėsdinimo kameroje, ypač 200 mm plokštelių apdorojimo platformose.

Pagamintas iš itin gryno lydyto kvarco, šis komponentas yra optimizuotas ekstremalioms puslaidininkių aplinkoms, kurioms būdingos:

● Didelės energijos plazmos ekspozicija

● Reaktyviosios cheminės dujos (pvz., fluoro pagrindu pagamintos cheminės medžiagos)

● Greito terminio ciklavimo sąlygos

„Semixlab Technology“ šį produktą gamina griežtai kontroliuojant:

● Medžiagos grynumas (mažas metalų užterštumas)

● Matmenų tolerancijos (labai svarbios kraštų apdorojimo valdymui)

● Paviršiaus apdaila (sumažinanti dalelių susidarymą)

Tai užtikrina nuoseklų našumą pažangiuose puslaidininkių gamybos procesuose.

Įprasti gedimų režimai

Kvarcinis dengiamasis žiedas, kaip eksploatacinis komponentas, veikiantis atšiauriomis plazmos sąlygomis, yra veikiamas kelių degradacijos mechanizmų:

1. Plazmos sukelta erozija

● Paviršiaus šiurkštėjimas dėl jonų bombardavimo

● Laipsniškas medžiagos praradimas, keičiantis geometriją

Poveikis: Sumažėjęs ėsdinimo vienodumas ir nestabilus proceso našumas

2. Cheminis nusėdimas ir užterštumas

● Polimerų arba šalutinių produktų kaupimasis paviršiuje

● Pleiskanojimas arba lupimasis terminio ciklavimo metu

Poveikis: dalelių susidarymas ir plokštelių užterštumas

3. Terminis įtrūkimas

● Pakartotiniai kaitinimo ir vėsinimo ciklai sukelia mikroįtrūkimus

● Įtrūkimo plitimas, dėl kurio atsiranda konstrukcijos gedimas

Poveikis: Staigus gedimas ir neplanuotos prastovos

4. Dalelių generavimas

● Senstantis kvarcas sukelia mikroįtrūkimus

● Paviršiaus degradacija išskiria daleles į kamerą

Poveikis: Derliaus nuostoliai ir defektų padidėjimas

Kodėl verta rinktis „Semixlab“ technologiją?

„Semixlab Technology“ deriname gilias puslaidininkių procesų žinias su pažangiomis kvarco gamybos galimybėmis, kad galėtume pasiūlyti:

● Didelio grynumo kvarco medžiagos itin švariam apdorojimui

● Tikslus apdirbimas, užtikrinantis tikslų suderinamumą su OEM

● Optimizuotas eksploatavimo laikas, siekiant sumažinti eksploatavimo išlaidas (CoO)

● Griežta kokybės kontrolė, suderinta su puslaidininkių gamybos standartais

Mūsų pakaitinės dalys yra sukurtos taip, kad atitiktų arba viršytų OEM specifikacijas, užtikrinant sklandų integravimą ir patikimą veikimą sudėtingose ​​ėsdinimo aplinkose.

Įrangos ir funkcinio vaidmens vieta

Montavimo padėtis

Kvarco dengiamasis žiedas paprastai montuojamas:

● Aplink plokštelės krašto sritį

● Ant elektrostatinio griebtuvo (ESC) perimetro arba šalia jo

● Ėsdinimo kameros plazmos ekspozicijos zonoje

Jis veikia kaip kraštų valdymo mazgo dalis, veikdamas kartu su tokiais komponentais kaip fokusavimo žiedai ir šešėlių žiedai.

Pagrindinės funkcijos

1. Kameros ir komponentų apsauga

Žiedas veikia kaip apsauginis barjeras, apsaugantis svarbiausius komponentus (pvz., ESC ir kameros sienas) nuo:

● Tiesioginis plazmos bombardavimas

● Cheminė korozija

● Jonų sukeltas dulkinimas

Tai žymiai pailgina vertingų kameros komponentų tarnavimo laiką.

2. Plazmos krašto valdymas ir proceso stabilumas

Sukurta geometrija (pvz., laiptuoti profiliai ir įpjovos) padeda:

● Reguliuokite plazmos apvalkalo pasiskirstymą šalia plokštelės krašto

● Sumažinkite kraštų poveikio nuokrypius

● Pagerinti ėsdinimo vienodumą ir CD (kritinių matmenų) valdymą

Tai ypač svarbu atliekant didelio tikslumo raštų perkėlimo procesus.

3. Dujų srautų ir šalutinių produktų valdymas

Dangtelio žiedas prisideda prie:

● Valdoma dujų srauto dinamika plokštelės krašte

● Sumažintas polimerų kaupimasis nepageidaujamose srityse

● Stabilizuotos kameros sąlygos ilgų procesų metu

Tai tiesiogiai palaiko pakartojamumą ir derliaus padidėjimą.