Didelio grynumo izostatinio grafito sandarinimo žiedai

„Semixlab“ didelio grynumo izostatinio grafito sandarinimo žiedai yra pagaminti iš itin didelio grynumo izostatiniu būdu presuoto grafito. Šie sandarinimo žiedai užtikrina stabilų, mažai užterštą sandarinimą, kuris tiesiogiai palaiko proceso patikimumą, išeigos pastovumą ir įrangos veikimo laiką pažangiuose priekinių plokštelių gamybos procesuose.

Epitaksijos sistemose, kur būtina tiksliai kontroliuoti dujų srautą, slėgio stabilumą ir terminį vienodumą, „Semixlab“ didelio grynumo izostatiniai grafito sandarinimo žiedai atlieka labai svarbų vaidmenį palaikant reaktoriaus vientisumą esant nuolatinei temperatūrai, dažnai viršijančiai 1000 °C. Šie sandarinimo žiedai, sumontuoti kameros sąsajose, sandarinimo ribose ir besisukančiose arba stacionariose jungtyse karštojoje zonoje, pasižymi mažu ir izotropiniu šiluminiu plėtimusi, todėl jie gali išlaikyti matmenų stabilumą pakartotinių terminių ciklų metu. Dėl itin mažo metalinių priemaišų kiekio sumažėja netyčinio legiruojančių medžiagų įterpimo ar metalo užteršimo rizika, padedant užtikrinti vienodą epitaksijos sluoksnio storį, kontroliuojamus legiravimo profilius ir aukštos kokybės kristalų augimą tiek silicio, tiek sudėtinių puslaidininkių epitaksijos procesuose.

CVD, LPCVD ir PECVD taikymuose sandarinimo komponentai yra veikiami aukštos temperatūros, vakuumo, korozinių pirmtakų dujų ir kai kuriais atvejais plazmos aplinkos. „Semixlab“ didelio grynumo izostatinio grafito sandarinimo žiedai plačiai naudojami kamerų durelių sandarikliuose, dujų izoliacijos konstrukcijose ir pereinamosiose zonose tarp karštų ir šaltų reaktoriaus sričių. Dėl didelio grynumo grafito cheminio atsparumo jis stabiliai veikia esant agresyvioms proceso dujoms, tokioms kaip HCl, NH₃ ir halogenų pagrindu pagaminti pirmtakai, o tanki, izotropinė mikrostruktūra sumažina dalelių susidarymą ir mechaninį degradaciją per ilgesnį eksploatavimo laiką. Palyginti su metaliniais sandarinimo sprendimais, grafito sandarinimo žiedai pasižymi geresniu atsparumu korozijai ir terminiam nuovargiui, todėl pailgėja priežiūros intervalai ir pagerėja procesų kartojamumas didelio masto gamyboje.

Dėl aukštos temperatūros difuzijos, oksidacijos ir greito terminio apdorojimo keliami griežti sandarinimo savybių reikalavimai dėl ekstremalių temperatūrų, greito terminio pakilimo ir dažno procesų ciklavimo. Tokiomis sąlygomis „Semixlab“ didelio grynumo izostatiniai grafito sandarinimo žiedai išlaiko pastovų sandarumo vientisumą aukštesnėje nei 1100 °C temperatūroje, palaikydami stabilų atmosferos valdymą krosnių vamzdžiuose ir RTP kamerose. Vienodos mechaninės savybės, kurias užtikrina izostatinis presavimas, padeda išvengti lokalizuotos įtempių koncentracijos, mikroįtrūkimų ir sandariklio deformacijos greito kaitinimo ir aušinimo metu, taip prisidedant prie stabilių legiruojančių medžiagų difuzijos profilių, vienodo oksido augimo ir pakartojamų terminio proceso rezultatų, kurie yra labai svarbūs pažangios logikos ir atminties įrenginių gamybai.

Ėsdinimo procese, įskaitant sausojo ėsdinimo procesus, kuriuose naudojamos halogeninės cheminės medžiagos ir plazmos pagalba veikiančios aplinkos, sandarinimo žiedai reikalingi vakuumo vientisumui išlaikyti, kartu ribojant dalelių susidarymą ir cheminį skaidymą. „Semixlab“ didelio grynumo izostatinio grafito sandarinimo žiedai paprastai naudojami netiesioginio plazmos poveikio zonose, tokiose kaip kameros periferijos sandarinimo sąsajos ir struktūrinės izoliacijos regionai. Kartu su tinkamu paviršiaus tankinimo arba apsauginiu sluoksniu šie sandarinimo žiedai užtikrina patikimą atsparumą korozinėms ėsdinimo dujoms ir terminiam įtempiui, palaikydami stabilias kameros sąlygas ir sumažindami su užterštumu susijusių išeigos nuostolių riziką.

Sukurtas atsižvelgiant į medžiagos grynumą, konstrukcijos stabilumą ir ilgalaikį patikimumą, „Semixlab“ didelio grynumo izostatinio grafito sandarinimo žiedas suderinamas su pažangiomis dangų technologijomis ir integruojamas į sudėtingas puslaidininkių įrangos architektūras, todėl tai patikimas sprendimas tiek pažangiausiems, tiek sudėtingiausiems procesų mazgams. Užtikrindama nuoseklų sandarinimo našumą pačiomis sudėtingiausiomis proceso sąlygomis, „Semixlab“ padeda puslaidininkių gamintojams pasiekti didesnį našumą, geresnį įrangos panaudojimą ir mažesnes bendras eksploatavimo sąnaudas. Nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.