Didelio grynumo porėtas grafitas

Didelio grynumo porėtas grafitas yra itin svarbi medžiaga pažangiai puslaidininkių gamybai, kur svarbiausias yra išskirtinis terminis stabilumas, itin mažas užterštumo lygis ir proceso nuoseklumas. „Semixlab“ didelio grynumo porėto grafito tirpalai yra specialiai sukurti aukštos temperatūros ir užterštumui jautriems puslaidininkių procesams.

Epitaksijos procesuose didelio grynumo porėtas grafitas plačiai naudojamas pagrindiniuose komponentuose, tokiuose kaip padėklo laikikliai, plokštelių nešioklės, dujų paskirstymo struktūros ir terminio lauko elementai. Si, SiC ir GaN epitaksinio augimo metu tikslus temperatūros vienodumas ir stabilus dujų srautas yra svarbiausi veiksniai, lemiantys plėvelės storio kontrolę, legiravimo vienodumą ir defektų slopinimą. „Semixlab“ grafito porėta mikrostruktūra leidžia tolygiau paskirstyti šilumą ir kontroliuoti dujų difuziją per plokštelės paviršių, taip sumažinant ribinio sluoksnio nestabilumą ir kraštų efektus.

Difuzijos ir oksidacijos procesų, kuriems reikalingas ilgalaikis veikimas aukštesnėje nei 1000 °C temperatūroje, metu didelio grynumo porėtas grafitas yra patikima konstrukcinė ir atraminė medžiaga plokščių valtims, įdėklams ir šilumos izoliacijos komponentams. Palyginti su tankiu grafitu, jo porėta struktūra sumažina terminį įtempį ir deformaciją pakartotinių terminių ciklų metu, padidindama matmenų stabilumą ir pailgindama komponentų tarnavimo laiką. Natūralus cheminis inertiškumas ir mažas priemaišų kiekis padeda palaikyti švarią proceso aplinką, užtikrindamas griežtą legiruojančių medžiagų difuzijos profilių ir oksido plėvelės kokybės kontrolę, kartu sumažindamas dalelių susidarymo ir kryžminio užteršimo riziką.

CVD, LPCVD ir PECVD procesuose labai grynas porėtas grafitas atlieka itin svarbų vaidmenį šildytuvuose, plokštelių laikikliuose ir vidinėse kamerų dalyse, veikiamose reaktyviųjų dujų ir aukštos temperatūros. Puikus medžiagos šilumos laidumas užtikrina greitą ir tolygų šilumos perdavimą, o porėta struktūra leidžia kontroliuoti nusėdimo šalutinių produktų sulaikymą, sumažinant pleiskanojimą ir dalelių išsiskyrimą ilgo įrangos veikimo metu. Tai tiesiogiai prisideda prie didesnio proceso stabilumo, ilgesnių techninės priežiūros intervalų ir ilgesnio įrangos veikimo laiko.

„Semixlab“ itin grynas porėtas grafitas gaminamas laikantis griežtos kokybės kontrolės sistemos, kruopščiai parenkant, valant ir mikrostruktūros inžinerijos procesus. Kai reikalingas ilgesnis tarnavimo laikas arba veikimas sudėtingesnėje cheminėje aplinkoje, šis produktas suderinamas su pažangiomis apsauginėmis dangomis, tokiomis kaip SiC arba TaC. Pasitelkdami išskirtinį konstrukcijos lankstumą, apdirbamumą ir pažangią puslaidininkių dangų technologiją, mūsų sprendimai gali būti tiksliai pritaikyti prie konkrečių jūsų puslaidininkinės įrangos platformos ir proceso mazgo reikalavimų. Nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.