Anglies pluošto kompozitinis kreipiamasis cilindras

„Semixlab“ tiekia aukštos kokybės anglies kompozitinius kreipiamuosius cilindrus, skirtus pažangiai puslaidininkinių kristalų auginimo ir aukštos temperatūros apdorojimo įrangai.

Pagaminti iš aukščiausios kokybės anglies pluoštu armuotos anglies matricos kompozicinių medžiagų, mūsų C/C kompoziciniai kreipiamieji cilindrai pasižymi išskirtiniu stiprumu aukštoje temperatūroje, atsparumu terminiam smūgiui, lengvumu ir matmenų stabilumu esant ekstremalioms šiluminėms sąlygoms.

Sukurtas sudėtingoms reikmėms, įskaitant SiC kristalų auginimą (PVT), silicio monokristalų auginimą ir aukštos temperatūros puslaidininkinių krosnių sistemas, anglies-anglies kompozitinis kreipiamasis cilindras padeda pagerinti šiluminio lauko stabilumą, mechaninį patikimumą ir įrangos tarnavimo laiką.

Anglies anglies kompozito kreipiamojo cilindro gaminio savybės

Anglies pluošto kompozito kreipiamasis cilindras sujungia anglies pluošto armatūros ir anglies matricos medžiagų privalumus, užtikrindamas geresnes eksploatacines savybes, palyginti su tradiciniais grafito komponentais, naudojamais puslaidininkinėse šiluminėse sistemose.

Unikali kompozicinė konstrukcija žymiai pagerina mechaninį stiprumą ir konstrukcijos patikimumą aukštoje temperatūroje. Skirtingai nuo įprastų grafitinių kreipiamųjų cilindrų, kurių stiprumas gali sumažėti ilgalaikio terminio poveikio metu, C/C kompozitas išlaiko puikų matmenų stabilumą ir mechanines savybes, užtikrindamas tikslų valdymą ir stabilų veikimą aukštos temperatūros įrangoje.

Dėl išskirtinių C/C kompozito šiluminių savybių jis idealiai tinka ekstremalioms puslaidininkių apdorojimo aplinkoms. Dėl mažo šiluminio plėtimosi, didelio šilumos laidumo ir puikaus atsparumo šiluminiams smūgiams, kreipiamasis cilindras gali atlaikyti pakartotinius kaitinimo ir aušinimo ciklus, tuo pačiu sumažindamas įtrūkimų, deformacijos ir šiluminių įtempių kaupimąsi.

Be to, didelio grynumo anglies-anglies kompozicinės medžiagos pasižymi puikiu cheminiu stabilumu ir mažu užterštumu. Po valymo ir paviršiaus apdorojimo šie komponentai gali efektyviai sumažinti priemaišų išsiskyrimą ir dalelių susidarymą, taip atitikdami griežtus puslaidininkių kristalų augimo ir plokštelių gamybos procesų švaros reikalavimus.

Užklausa Semixlab

Ieškote aukštos kokybės anglies pluošto kompozitinių kreipiamųjų cilindrų sprendimų? Susisiekite su „Semixlab“ šiandien ir aptarkite savo taikymo reikalavimus.

Pagrindinės anglies anglies kompozito kreipiamojo cilindro specifikacijos

Taikymas puslaidininkių procesuose

1. SiC kristalų auginimo krosnis (PVT procesas)

Silicio karbido (SiC) kristalų auginimo metu naudojant fizikinio garų pernašos (PVT) metodą, terminis laukas veikia itin aukštoje temperatūroje, paprastai aukštesnėje nei 2000 °C.

Anglies kompozito kreipiamasis cilindras atlieka svarbų vaidmenį palaikant mechaninį išlygiavimą ir šiluminio lauko stabilumą augimo krosnyje. Jis gali būti naudojamas kreipiamosioms konstrukcijoms, atraminiams komponentams ir padėties nustatymo sistemoms, kur reikalingas puikus atsparumas temperatūrai ir konstrukcinis patikimumas.

2. Silicio monokristalų auginimo įranga

Czochralski (CZ) silicio kristalų auginimo sistemose aukštos temperatūros komponentai turi išlaikyti tikslią geometriją per ilgus gamybos ciklus.

Anglies kompozito kreipiamasis cilindras užtikrina patikimą konstrukcinę atramą terminio lauko mazguose, padėdamas sumažinti terminio ciklavimo sukeliamą deformaciją ir pagerindamas kristalų auginimo įrangos veikimo stabilumą. Lengva konstrukcija ir didelis mechaninis stiprumas taip pat prisideda prie geresnio įrangos efektyvumo ir mažesnės mechaninės apkrovos.

3. Aukštos temperatūros puslaidininkinių krosnių sistemos

Pažangi puslaidininkių gamyba apima įvairius aukštos temperatūros procesus, įskaitant:

atkaitinimo

Difuzija

Vakuuminis terminis apdorojimas

Terminis apdorojimas

C/C kompozitinis kreipiamasis cilindras tinka tokioms aplinkoms dėl puikaus atsparumo šiluminiam smūgiui ir ilgalaikio temperatūros stabilumo. Palyginti su įprastais grafito komponentais, jis užtikrina ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį patikimumą nuolat veikiant aukštoje temperatūroje.

1 klausimas: Kas yra anglies pluošto kreipiamasis cilindras?

Anglies pluoštu sustiprintas kreipiamasis cilindras yra aukštos temperatūros konstrukcinis komponentas, pagamintas iš anglies pluoštu sustiprintų anglies kompozicinių medžiagų. Jis skirtas puslaidininkinių kristalų auginimo krosnims ir terminio apdorojimo sistemoms, kurioms reikalingas puikus stiprumas ir terminis stabilumas.

2 klausimas: Kodėl verta rinktis C/C kompozitą vietoj tradicinio grafito?

Palyginti su grafitu, anglies ir anglies kompozitas suteikia:

Didesnis mechaninis stiprumas

Geresnis atsparumas terminiam smūgiui

Pagerintas matmenų stabilumas

Ilgesnis tarnavimo laikas ekstremaliomis sąlygomis

3 klausimas: Ar „Semixlab“ gali pritaikyti anglies pluošto kreipiamuosius cilindrus?

Taip. „Semixlab“ palaiko OEM/ODM pritaikymą, įskaitant matmenis, pluošto orientaciją, tankį, paviršiaus apdorojimą ir dangų sprendimus pagal kliento reikalavimus.

4 klausimas: Kokiuose puslaidininkių procesuose naudojami C/C kompoziciniai kreipiamieji cilindrai?

Paprastai naudojamos šios programos:

SiC kristalų augimas (PVT)

Silicio monokristalų augimas

Aukštos temperatūros krosnių sistemos

Terminio apdorojimo įranga